感光芯片
彩色200萬像素
照明光源
同軸光、體式光
測量鏡頭
5X /10X/20X/50X（選配）
數(shù)據(jù)接ロ
USB V3.0
儀器尺寸
300X123X220mm(長寬高)
儀器重量
主機(jī)重量約1600克
深度量程
3MM
測量精度
XY:+/-0.5um Z:+/-1um
滾筒支架
球形結(jié)構(gòu)
版輥直徑
100MM-500MM
移動(dòng)平臺(tái)
XYMAX移動(dòng)范圍10MM
圖像格式
BMP
圖像尺寸
1280X720像素
Ž軸精度
200納米|光柵
